智能高精度長度基準儀

為保證在大尺寸條件下的精度，本設(shè)備采取了多項技術(shù)措施。

      本設(shè)備所有運動部件，均采用超精密加工；本設(shè)備所有電子器件，均采用世界頂級產(chǎn)品，本設(shè)備采用了大理石工作臺，從而為設(shè)備的精度提供了基本保障。

      為避免設(shè)備在使用時，測量塊受到外力作用發(fā)生微量移動而引起的尺寸變化，采用反饋控制技術(shù)，自動消除外力干預，返回到原始位置。從而消除在外力作用下引起位移帶來的精度誤差。

      為防止彈性變形誤差，移動端的測量塊和滑移端的測量塊無需接觸，以避免接觸時，在外力的作用下發(fā)生彈性變形。系統(tǒng)會自動計算出兩測量塊的間隙并補償。

      本設(shè)備具有自動控制激光干涉儀記數(shù)的功能：因為設(shè)備投入使用前要用激光干涉儀進行多點多點校準（點越多，校準后的精度就越高），每個點校準時，系統(tǒng)發(fā)出指令，控制激光干涉儀與光柵尺在系統(tǒng)里同時計數(shù)。

      自動生成線性修正系數(shù)：技術(shù)人員在設(shè)備校準時，可把總量程分成多點進行校正，整個分點校正過程，設(shè)備自動完成。校準完成后，可自動生成誤差曲線，判斷誤差趨勢，從而可確定每段量程的線性修正系數(shù)。