智能高精度長度基準(zhǔn)儀

為保證在大尺寸條件下的精度，本設(shè)備采取了多項(xiàng)技術(shù)措施。

      本設(shè)備所有運(yùn)動(dòng)部件，均采用超精密加工；本設(shè)備所有電子器件，均采用世界頂級(jí)產(chǎn)品，本設(shè)備采用了大理石工作臺(tái)，從而為設(shè)備的精度提供了基本保障。

      為避免設(shè)備在使用時(shí)，測量塊受到外力作用發(fā)生微量移動(dòng)而引起的尺寸變化，采用反饋控制技術(shù)，自動(dòng)消除外力干預(yù)，返回到原始位置。從而消除在外力作用下引起位移帶來的精度誤差。

      為防止彈性變形誤差，移動(dòng)端的測量塊和滑移端的測量塊無需接觸，以避免接觸時(shí)，在外力的作用下發(fā)生彈性變形。系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)計(jì)算出兩測量塊的間隙并補(bǔ)償。

      本設(shè)備具有自動(dòng)控制激光干涉儀記數(shù)的功能：因?yàn)樵O(shè)備投入使用前要用激光干涉儀進(jìn)行多點(diǎn)多點(diǎn)校準(zhǔn)（點(diǎn)越多，校準(zhǔn)后的精度就越高），每個(gè)點(diǎn)校準(zhǔn)時(shí)，系統(tǒng)發(fā)出指令，控制激光干涉儀與光柵尺在系統(tǒng)里同時(shí)計(jì)數(shù)。

      自動(dòng)生成線性修正系數(shù)：技術(shù)人員在設(shè)備校準(zhǔn)時(shí)，可把總量程分成多點(diǎn)進(jìn)行校正，整個(gè)分點(diǎn)校正過程，設(shè)備自動(dòng)完成。校準(zhǔn)完成后，可自動(dòng)生成誤差曲線，判斷誤差趨勢，從而可確定每段量程的線性修正系數(shù)。